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发布时间：2019-04-03

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专利号：201310492267.2

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专利号：201020680044.0

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专利号：201410479062.5

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一种长腔长微机电可调谐法布里－珀罗滤波器

专利号：201410614452.9

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一种巯基-烯紫外光固化纳米压印材料

专利号：201310234613.7

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专利号：200910243533.1

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专利号：201610197395.8

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超分辨成像光刻

专利号：2016505702

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专利号：201410192957.0

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专利号：201410192906.8

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一种基于双层胶技术的掩模平坦化方法

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一种用于制备金属/介质纳米多层膜高质量断面的方法

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一种纳米激光器激光合束器件的制备方法

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一种超衍射材料光传输特性的测试分析方法

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无标记深浮雕微透镜阵列与探测器的对准方法

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衍射元件的计算机辅助对心装校装置及方法

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基于人工电磁结构材料的高增益低雷达散射截面平板天线

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一种光栅辅助纳米成像的光刻方法

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一种纳米缝隙金属聚焦透镜的制备方法

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一种基于手性人工电磁结构的双频园极化器

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一种位相型纳米物体表面等离子体超分辨成像方法

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一种超衍射定向传输材料结构制备后的测试分析方法

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一种利用超衍射离轴照明技术的纳米表层光学显微成像器件及成像方法

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一种表面等离子体超分辨干法光刻方法

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一种利用两次离子束刻蚀技术制备成像面为平面的超透镜制备方法

专利号：201210107636.7

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一种高分辨力超衍射聚焦结构透镜的制作方法

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一种用于光刻的高效超分辨率聚焦器件制备方法

专利号：201210107586.2

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