专利详情
本发明属于纳米材料领域,提出了一种远程熔盐辅助制备ZrO<subgt;2</subgt;薄膜的方法及ZrO<subgt;2</subgt;薄膜、MIM柔性电容器及其制备方法。本发明采用碳化锆作为锆源,远程双元碱金属卤化物气相分子辅助其挥发,利用环境或基底释放微量氧气辅助生长氧化锆薄膜。所制备的薄膜连续致密、厚度均匀、表面平整,且制备方法简便易操作。此氧化锆薄膜具有高介电常数,是良好的介电层材料,基于此氧化锆薄膜构建了MIM(柔性金属‑半导体‑金属)型电容器,在300次高强度弯曲状态下,仍保持较稳定的电容性能。
交易流程
第一步:对接专利转让需求客户。
第二步:专利转让人和专利受让人签署专利转让合同。
第三步:双方准备好专利转让需要的相关文件。
第四步:将相关的文件递交给专利局。
第五步:等待专利转让结果。
过户材料
买卖双方需提供的材料 | ||
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企业或组织 | 个人 | |
受让方 | ①营业执照复印件 ②专利权转让协议 ③专利代理委托书 |
①身份证复印件(签名) ②专利权转让协议 ③专利代理委托书 |
转让方 | ①营业执照复印件 ②专利权转让协议 ③没有变更记录的专利需提供《专利请求书》 有变更记录的专利需提供《手续合格通知书》 ④下证专利需提供专利证书原件。 ⑤若有代理机构提供《解除委托代理协议》 |
①身份证复印件(空白处签名) ②专利权转让协议 ③没有变更记录的专利需提供《专利请求书》 有变更记录的专利需提供《手续合格通知书》 ④下证专利需提供专利证书 ⑤若有代理机构需提供《解除委托代理协议》 |