乙中南（公司）（未认证）

本发明提供一种激光剥离碳化硅晶圆的系统及方法，其中系统包括工作台、机架和壳体，工作台分隔成激光加工空间和辅助操作空间，激光加工空间和辅助操作空间之间设有隔离门；激光加工空间内设有激光剥离装置，其包括激光器、与激光器相连的封闭光路结构、龙门架和二维移动吸附平台；龙门架的正面设置有竖直升降平台；竖直升降平台的升降端自上而下依次设置有二向色分光镜、聚焦物镜；封闭光路结构用于将激光器发出的激光在封闭状态下传输到二向色分光镜上；二维移动吸附平台设置在聚焦物镜的正下方，用于支撑吸附待加工的碳化硅晶锭，并能在X方向和Y方向水平移动；本发明的激光加工光路抗干扰能力强、定位精度高，可提高加工质量和加工效率。

第一步：对接专利转让需求客户。

第二步：专利转让人和专利受让人签署专利转让合同。

第三步：双方准备好专利转让需要的相关文件。

第四步：将相关的文件递交给专利局。

第五步：等待专利转让结果。

买卖双方需提供的材料
	企业或组织	个人
受让方	①营业执照复印件 ②专利权转让协议 ③专利代理委托书	①身份证复印件（签名） ②专利权转让协议 ③专利代理委托书
转让方	①营业执照复印件 ②专利权转让协议 ③没有变更记录的专利需提供《专利请求书》 有变更记录的专利需提供《手续合格通知书》 ④下证专利需提供专利证书原件。 ⑤若有代理机构提供《解除委托代理协议》	①身份证复印件（空白处签名） ②专利权转让协议 ③没有变更记录的专利需提供《专利请求书》 有变更记录的专利需提供《手续合格通知书》 ④下证专利需提供专利证书 ⑤若有代理机构需提供《解除委托代理协议》