专利详情
本发明公开了基于飞秒激光的光电晶体管制备方法及晶体管阵列。包括步骤:S10,提供一顶面具有二氧化硅层的硅基层;S20,在二氧化硅层的上表面形成三层薄膜结构;S30,基于飞秒激光加工工艺依据预设图案信息,沿垂直于三层薄膜结构的表面方向从三层薄膜结构的上方进行刻蚀加工形成由多个叠层无结光电晶体管组成的晶体管阵列,相邻叠层无结光电晶体管经由沟槽分隔开来。本发明的基于飞秒激光的光电晶体管制备方法,通过使用飞秒激光微纳加工技术,省略了传统图案化过程中的光刻步骤,从而降低了晶体管器件的制备工艺成本,复合光敏材料与半导体材料,利用光生载流子注入半导体来提高器件电子及空穴的迁移率,获得更高的光电流响应。
交易流程
第一步:对接专利转让需求客户。
第二步:专利转让人和专利受让人签署专利转让合同。
第三步:双方准备好专利转让需要的相关文件。
第四步:将相关的文件递交给专利局。
第五步:等待专利转让结果。
过户材料
买卖双方需提供的材料 | ||
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企业或组织 | 个人 | |
受让方 | ①营业执照复印件 ②专利权转让协议 ③专利代理委托书 |
①身份证复印件(签名) ②专利权转让协议 ③专利代理委托书 |
转让方 | ①营业执照复印件 ②专利权转让协议 ③没有变更记录的专利需提供《专利请求书》 有变更记录的专利需提供《手续合格通知书》 ④下证专利需提供专利证书原件。 ⑤若有代理机构提供《解除委托代理协议》 |
①身份证复印件(空白处签名) ②专利权转让协议 ③没有变更记录的专利需提供《专利请求书》 有变更记录的专利需提供《手续合格通知书》 ④下证专利需提供专利证书 ⑤若有代理机构需提供《解除委托代理协议》 |