专利详情
本发明公开了一种氢等离子体处理制备N型电池选择性发射极的方法,涉及太阳能电池技术领域。方法包括以下步骤:N型硅片在硼扩散过程中实现重掺杂;采用氢等离子体处理,通过掩膜版的方式,让暴露在氢等离子体环境中的硅片表面活性硼离子与氢离子结合形成中性稳定的硼氢对,从而降低PN结中活性B原子的掺杂浓度,形成低掺杂区域;而掩膜版下未暴露区域不反应,为高掺杂区域,从而实现选择性掺杂。本发明方法无需激光设备,不会对发射极造成损伤;且通过掩膜版的方式,能够实现重掺杂区域的尺度可控,有望实现产业化。
交易流程
第一步:对接专利转让需求客户。
第二步:专利转让人和专利受让人签署专利转让合同。
第三步:双方准备好专利转让需要的相关文件。
第四步:将相关的文件递交给专利局。
第五步:等待专利转让结果。
过户材料
买卖双方需提供的材料 | ||
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企业或组织 | 个人 | |
受让方 | ①营业执照复印件 ②专利权转让协议 ③专利代理委托书 |
①身份证复印件(签名) ②专利权转让协议 ③专利代理委托书 |
转让方 | ①营业执照复印件 ②专利权转让协议 ③没有变更记录的专利需提供《专利请求书》 有变更记录的专利需提供《手续合格通知书》 ④下证专利需提供专利证书原件。 ⑤若有代理机构提供《解除委托代理协议》 |
①身份证复印件(空白处签名) ②专利权转让协议 ③没有变更记录的专利需提供《专利请求书》 有变更记录的专利需提供《手续合格通知书》 ④下证专利需提供专利证书 ⑤若有代理机构需提供《解除委托代理协议》 |