专利详情
本发明公开了一种基于晶圆视觉识别的基板定位方法及系统,通过预先采集完整晶圆图像和包含于晶圆中的单片基板的单片基板图像,根据完整晶圆图像,获得特征识别锚框,实时采集晶圆高分辨率图像,并基于特征识别锚框获得与晶圆高分辨率图像对应的基板轮廓图,根据基板轮廓图,拟合反映刻蚀线的网格图,根据网格图,将单片基板图像和晶圆高分辨率图像对应的晶圆灰度图进行匹配,对基板进行标记以及根据基板标记结果,对基板进行定位,解决了现有晶圆视觉定位基板精度低的技术问题,不仅可实时拟合不同晶圆刻蚀线并规划坐标,具有较强的适应能力,且定位精度高。
交易流程
第一步:对接专利转让需求客户。
第二步:专利转让人和专利受让人签署专利转让合同。
第三步:双方准备好专利转让需要的相关文件。
第四步:将相关的文件递交给专利局。
第五步:等待专利转让结果。
过户材料
买卖双方需提供的材料 | ||
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企业或组织 | 个人 | |
受让方 | ①营业执照复印件 ②专利权转让协议 ③专利代理委托书 |
①身份证复印件(签名) ②专利权转让协议 ③专利代理委托书 |
转让方 | ①营业执照复印件 ②专利权转让协议 ③没有变更记录的专利需提供《专利请求书》 有变更记录的专利需提供《手续合格通知书》 ④下证专利需提供专利证书原件。 ⑤若有代理机构提供《解除委托代理协议》 |
①身份证复印件(空白处签名) ②专利权转让协议 ③没有变更记录的专利需提供《专利请求书》 有变更记录的专利需提供《手续合格通知书》 ④下证专利需提供专利证书 ⑤若有代理机构需提供《解除委托代理协议》 |