专利详情
本实用新型公开了一种半导体器件用微纳米粉体镀膜设备,包括真空腔室、设置在真空腔室中的磁控溅射装置以及与真空腔室连接的真空系统,还包括设置在真空腔室中的多边形镀膜滚筒和转动支架,所述多边形镀膜滚筒和转动支架均与真空腔室内壁转动连接,还包括电机,所述多边形镀膜滚筒和转动支架分别通过电机驱动转动,所述转动支架设置在多边形镀膜滚筒内部,多个所述磁控溅射装置安装在转动支架上,各所述磁控溅射装置的溅射侧均朝向多边形镀膜滚筒。本申请的镀膜设备,通过滚动的方式对微纳米粉体进行分散,避免粉体成团,提高粉体表面镀膜均匀性;通过在转动支架上设置多个磁控溅射装置,在滚动镀膜的同时便于更换不同靶材,实现多层镀膜。
交易流程
第一步:对接专利转让需求客户。
第二步:专利转让人和专利受让人签署专利转让合同。
第三步:双方准备好专利转让需要的相关文件。
第四步:将相关的文件递交给专利局。
第五步:等待专利转让结果。
过户材料
买卖双方需提供的材料 | ||
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企业或组织 | 个人 | |
受让方 | ①营业执照复印件 ②专利权转让协议 ③专利代理委托书 |
①身份证复印件(签名) ②专利权转让协议 ③专利代理委托书 |
转让方 | ①营业执照复印件 ②专利权转让协议 ③没有变更记录的专利需提供《专利请求书》 有变更记录的专利需提供《手续合格通知书》 ④下证专利需提供专利证书原件。 ⑤若有代理机构提供《解除委托代理协议》 |
①身份证复印件(空白处签名) ②专利权转让协议 ③没有变更记录的专利需提供《专利请求书》 有变更记录的专利需提供《手续合格通知书》 ④下证专利需提供专利证书 ⑤若有代理机构需提供《解除委托代理协议》 |