专利详情
本发明提供了一种砷磷薄膜材料的制备方法及装置。所述砷磷薄膜材料的制备方法为在真空条件下,在400~450℃下加热使所述黑磷砷晶体挥发,沉积至基底上,在所述基底上形成所述砷磷薄膜材料;其中,所述基底位于所述黑磷砷晶体的上方。该方法简单易操作,解决了现有技术砷磷薄膜材料尺寸小、厚度最薄仅能达到微米级且厚度不可控,且难获得大面积均匀厚度的砷磷薄膜材料,或是容易引入有机杂质等问题。制备得到的砷磷薄膜材料可作为前驱体,用于大面积黑磷砷二维薄膜的制备,从而应用于半导体器件的制作。
交易流程
第一步:对接专利转让需求客户。
第二步:专利转让人和专利受让人签署专利转让合同。
第三步:双方准备好专利转让需要的相关文件。
第四步:将相关的文件递交给专利局。
第五步:等待专利转让结果。
过户材料
买卖双方需提供的材料 | ||
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企业或组织 | 个人 | |
受让方 | ①营业执照复印件 ②专利权转让协议 ③专利代理委托书 |
①身份证复印件(签名) ②专利权转让协议 ③专利代理委托书 |
转让方 | ①营业执照复印件 ②专利权转让协议 ③没有变更记录的专利需提供《专利请求书》 有变更记录的专利需提供《手续合格通知书》 ④下证专利需提供专利证书原件。 ⑤若有代理机构提供《解除委托代理协议》 |
①身份证复印件(空白处签名) ②专利权转让协议 ③没有变更记录的专利需提供《专利请求书》 有变更记录的专利需提供《手续合格通知书》 ④下证专利需提供专利证书 ⑤若有代理机构需提供《解除委托代理协议》 |