乙中南（公司）（未认证）

本发明涉及光通信技术领域，具体公开了一种铌酸锂光波导制造方法，包括以下步骤：S1：准备铌酸锂晶圆，制备各掩模层并涂覆光刻胶；S2：通过光刻工艺将掩模层上的光波导图形转移至光刻胶上；S3：干法刻蚀氧化层并进行刻蚀截止检测、去除光刻胶；S4：用湿法刻蚀清洗并去除多余的多晶硅；S5：用湿法和干法结合刻蚀芯层铌酸锂，获得铌酸锂光波导；S6：去掉铌酸锂光波导上的掩模层、多晶硅层、并高温回流处理后并沉积上包层，该方法结合了干法刻蚀和湿法刻蚀，可获得较高的刻蚀速率。

第一步：对接专利转让需求客户。

第二步：专利转让人和专利受让人签署专利转让合同。

第三步：双方准备好专利转让需要的相关文件。

第四步：将相关的文件递交给专利局。

第五步：等待专利转让结果。

买卖双方需提供的材料
	企业或组织	个人
受让方	①营业执照复印件 ②专利权转让协议 ③专利代理委托书	①身份证复印件（签名） ②专利权转让协议 ③专利代理委托书
转让方	①营业执照复印件 ②专利权转让协议 ③没有变更记录的专利需提供《专利请求书》 有变更记录的专利需提供《手续合格通知书》 ④下证专利需提供专利证书原件。 ⑤若有代理机构提供《解除委托代理协议》	①身份证复印件（空白处签名） ②专利权转让协议 ③没有变更记录的专利需提供《专利请求书》 有变更记录的专利需提供《手续合格通知书》 ④下证专利需提供专利证书 ⑤若有代理机构需提供《解除委托代理协议》