专利详情
本发明公开了一种通过等离子清洗处理铜锌锡硫硒(Cu2ZnSn(S,Se)4)薄膜表面的方法,该方法包括:(1)在表面处理前对等离子清洗腔室进行空载清洗;(2)放入铜锌锡硫硒薄膜样品,抽真空至腔体达到指定的气压,并保持一定时间;(3)预通入Ar,或者Ar和O2的混合气体,保持一定时间后以指定功率开始表面清洗;(4)表面清洗指定时间后关闭气路抽真空一段时间,然后得到经过表面处理的样品。本发明采用等离子清洗的方式去除铜锌锡硫硒薄膜表面的高导电相,降低样品表面粗糙度,不形成新物相,且避免了溶液对样品的影响和残留,容易通过遮挡等方式在同样条件下进行对比试验。
交易流程
第一步:对接专利转让需求客户。
第二步:专利转让人和专利受让人签署专利转让合同。
第三步:双方准备好专利转让需要的相关文件。
第四步:将相关的文件递交给专利局。
第五步:等待专利转让结果。
过户材料
买卖双方需提供的材料 | ||
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企业或组织 | 个人 | |
受让方 | ①营业执照复印件 ②专利权转让协议 ③专利代理委托书 |
①身份证复印件(签名) ②专利权转让协议 ③专利代理委托书 |
转让方 | ①营业执照复印件 ②专利权转让协议 ③没有变更记录的专利需提供《专利请求书》 有变更记录的专利需提供《手续合格通知书》 ④下证专利需提供专利证书原件。 ⑤若有代理机构提供《解除委托代理协议》 |
①身份证复印件(空白处签名) ②专利权转让协议 ③没有变更记录的专利需提供《专利请求书》 有变更记录的专利需提供《手续合格通知书》 ④下证专利需提供专利证书 ⑤若有代理机构需提供《解除委托代理协议》 |