乙中南（公司）（未认证）

本发明涉及半导体设备技术领域，具体为一种含气体保护的晶圆真空吸附旋转装置，包括外壳和固定在外壳内部的凸台，所述外壳内装配有无刷直流电机、真空吸附机构、带传动机构以及吹气机构组成，真空吸附机构包括吸附组件及固定在吸附组件底部的抽气组件，所述无刷直流电机通过带传动机构与抽气组件连动。本发明通过带传动方式将电机与中空轴连接，避免了电机处于真空吸盘正下方，加上凸起与吸盘挡圈配合隔绝化学液体，同时进行氮气吹扫以及在真空吸盘上安装O形密封圈，保证晶圆高速旋转的同时，避免化学液接触电机造成电机腐蚀，具有结构简单，成本较低，性能优良，应用范围广等优点。

第一步：对接专利转让需求客户。

第二步：专利转让人和专利受让人签署专利转让合同。

第三步：双方准备好专利转让需要的相关文件。

第四步：将相关的文件递交给专利局。

第五步：等待专利转让结果。

买卖双方需提供的材料
	企业或组织	个人
受让方	①营业执照复印件 ②专利权转让协议 ③专利代理委托书	①身份证复印件（签名） ②专利权转让协议 ③专利代理委托书
转让方	①营业执照复印件 ②专利权转让协议 ③没有变更记录的专利需提供《专利请求书》 有变更记录的专利需提供《手续合格通知书》 ④下证专利需提供专利证书原件。 ⑤若有代理机构提供《解除委托代理协议》	①身份证复印件（空白处签名） ②专利权转让协议 ③没有变更记录的专利需提供《专利请求书》 有变更记录的专利需提供《手续合格通知书》 ④下证专利需提供专利证书 ⑤若有代理机构需提供《解除委托代理协议》