专利详情
本申请提供一种气相沉积装置,包括底座、料板、沉积室,沉积室包括外筒体、排气口,以及设于外筒体内的排气套筒;排气套筒包括内筒和套设在内筒外部的套筒,内筒与套筒围合形成气流通道,且套筒的侧壁上设有通气孔;料板上设有第一进气孔,第一进气孔位于套筒和内筒之间;料板上还设有进气结构,进气结构包括进气孔阵列,进气孔阵列以排气套筒为中心呈放射状分布;进气孔阵列远离排气套筒的一侧设有第四进气孔。该设备能够有效控制沉积过程中气体的流动方向,使其与待处理坯体充分接触。另外,本发明还提供一种利用该设备制备碳/碳复合材料的方法,包括确定碳源气体流量大小的准则及随CVD次数增加而递减的原则。
交易流程
第一步:对接专利转让需求客户。
第二步:专利转让人和专利受让人签署专利转让合同。
第三步:双方准备好专利转让需要的相关文件。
第四步:将相关的文件递交给专利局。
第五步:等待专利转让结果。
过户材料
| 买卖双方需提供的材料 | ||
|---|---|---|
| 企业或组织 | 个人 | |
| 受让方 | ①营业执照复印件 ②专利权转让协议 ③专利代理委托书 |
①身份证复印件(签名) ②专利权转让协议 ③专利代理委托书 |
| 转让方 | ①营业执照复印件 ②专利权转让协议 ③没有变更记录的专利需提供《专利请求书》 有变更记录的专利需提供《手续合格通知书》 ④下证专利需提供专利证书原件。 ⑤若有代理机构提供《解除委托代理协议》 |
①身份证复印件(空白处签名) ②专利权转让协议 ③没有变更记录的专利需提供《专利请求书》 有变更记录的专利需提供《手续合格通知书》 ④下证专利需提供专利证书 ⑤若有代理机构需提供《解除委托代理协议》 |




津公网安备 12010402000689号