乙中南（公司）（未认证）

本发明公开了一种HZO/AO/HZO纳米叠层薄膜及其制备方法和应用，所述薄膜由HZO顶层、AO中层、HZO底层构成，其中HZO顶层由HfO2膜层与ZrO2膜层交替层叠组成，AO中层为Al2O3膜层，HZO底层由HfO2膜层与ZrO2膜层交替层叠组成。本发明的技术方案使用HfO2层及ZrO2层交替沉积，通过纳米叠层结构引入界面以调控界面能来稳定物相，并有效阻碍“电树”的生长，避免击穿的发生。此外，界面还能减小电子注入深度并抑制局部相分解，从而最终提高疲劳性能。另一方面，引入介质层Al2O3促进180°畴的形成以降低内建电场，削弱电畴的固定取向程度，减小漏电流密度。本发明能够解决具有良好铁电性能的

第一步：对接专利转让需求客户。

第二步：专利转让人和专利受让人签署专利转让合同。

第三步：双方准备好专利转让需要的相关文件。

第四步：将相关的文件递交给专利局。

第五步：等待专利转让结果。

买卖双方需提供的材料
	企业或组织	个人
受让方	①营业执照复印件 ②专利权转让协议 ③专利代理委托书	①身份证复印件（签名） ②专利权转让协议 ③专利代理委托书
转让方	①营业执照复印件 ②专利权转让协议 ③没有变更记录的专利需提供《专利请求书》 有变更记录的专利需提供《手续合格通知书》 ④下证专利需提供专利证书原件。 ⑤若有代理机构提供《解除委托代理协议》	①身份证复印件（空白处签名） ②专利权转让协议 ③没有变更记录的专利需提供《专利请求书》 有变更记录的专利需提供《手续合格通知书》 ④下证专利需提供专利证书 ⑤若有代理机构需提供《解除委托代理协议》