Alice（公司）（未认证）

本发明公开了一种用于生物分子检测的芯片单元的制备方法，包括：衬底上淀积电热绝缘材料、第二侧墙材料、基底材料；光刻和干法刻蚀法制作第一侧墙基底；淀积第一侧墙材料，用湿法腐蚀的方法去除第一侧墙的基底；以第一侧墙为掩膜干法刻蚀第二侧墙材料形成堆叠侧墙1；制作金属层；用薄膜淀积工艺制备绝缘材料层；用化学机械抛光制作纳流体通道，保留剩余的第一侧墙作为通道封顶层，然后去除光刻胶，最后再在通道两侧的金属上方开孔引出电极2即可形成适于生物分子检测的芯片单元。本发明能突破光刻分辨率限制及提高芯片单元与CMOS工艺的兼容性，并提高适于生物分子检测的芯片单元的制备效率。

第一步：对接专利转让需求客户。

第二步：专利转让人和专利受让人签署专利转让合同。

第三步：双方准备好专利转让需要的相关文件。

第四步：将相关的文件递交给专利局。

第五步：等待专利转让结果。

买卖双方需提供的材料
	企业或组织	个人
受让方	①营业执照复印件 ②专利权转让协议 ③专利代理委托书	①身份证复印件（签名） ②专利权转让协议 ③专利代理委托书
转让方	①营业执照复印件 ②专利权转让协议 ③没有变更记录的专利需提供《专利请求书》 有变更记录的专利需提供《手续合格通知书》 ④下证专利需提供专利证书原件。 ⑤若有代理机构提供《解除委托代理协议》	①身份证复印件（空白处签名） ②专利权转让协议 ③没有变更记录的专利需提供《专利请求书》 有变更记录的专利需提供《手续合格通知书》 ④下证专利需提供专利证书 ⑤若有代理机构需提供《解除委托代理协议》