专利详情
技术领域本发明涉及精密与超精密加工领域,更具体的说,涉及一种基于研磨抛光 盘多自由度调整机构的自适应调整方法。
背景技术
目前,随着半导体产业和光学产业的不断发展,需要硅片表面和光学镜面 等精密工件表面绝对平整,上下表面绝对平行,没有凸起和平整度差等缺陷。 因目前加工技术的限制,用来加工精密工件的复合弹性分级研抛盘表面不可能 绝对平整,上下表面不可能绝对平行。复合弹性分级研抛盘是一种以柔性材料 作为基体的研抛盘,集研磨与抛光与一体,然而由于研抛盘整体为弹性体,在 通过常用的修面机对研抛盘表面进行修整的时候,无法达到普通研磨盘的表面 平行度,不同的部位高度差距较大,这样的研抛盘加工工件表面质量难
交易流程
第一步:对接专利转让需求客户。
第二步:专利转让人和专利受让人签署专利转让合同。
第三步:双方准备好专利转让需要的相关文件。
第四步:将相关的文件递交给专利局。
第五步:等待专利转让结果。
过户材料
| 买卖双方需提供的材料 | ||
|---|---|---|
| 企业或组织 | 个人 | |
| 受让方 | ①营业执照复印件 ②专利权转让协议 ③专利代理委托书 |
①身份证复印件(签名) ②专利权转让协议 ③专利代理委托书 |
| 转让方 | ①营业执照复印件 ②专利权转让协议 ③没有变更记录的专利需提供《专利请求书》 有变更记录的专利需提供《手续合格通知书》 ④下证专利需提供专利证书原件。 ⑤若有代理机构提供《解除委托代理协议》 |
①身份证复印件(空白处签名) ②专利权转让协议 ③没有变更记录的专利需提供《专利请求书》 有变更记录的专利需提供《手续合格通知书》 ④下证专利需提供专利证书 ⑤若有代理机构需提供《解除委托代理协议》 |




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